Vakuumbereich  Druck in hPa (mbar)  Moleküle pro cm3  mittlere freie Weglänge 
Grobvakuum  300 - 1   10E19 - 10E16  0,01 - 100 micrometer  
Feinvakuum  1 - 10E-3  10E16 - 10E13  0.1 - 100 millimeter 
HV Hochvakuum   10E-3 - 10E-7   10E13 - 10E9  100 mm - 1 km 
UHV Ultrahochvakuum  10E-7 - 10E-12  10E9 - 10E4  1 - 10E5 km 
XHV extrem hohes Vakuum  <10E-12  < 10E4  > 10E5 km 


Während ein vollständig materiefreier Raum nicht herstellbar ist, können technische Vakua in verschiedenen Qualitäten hergestellt werden. Man unterscheidet in der Technik unterschiedliche Qualitäten des erzielten Vakuum nach der Menge der verbleibenden Materie (gemessen durch den Druck in Pa = Pascal oder mbar = Millibar).



Otto von Guericke